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上海精测再获国家大基金加码半导体量检测赛道持续升温

admin2天前上海厂房出租信息10

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　　2025/03/25 10:56:07

　　上海精测半导体获大基金二期等资本入股，公司注册资本从 13.7 亿元攀升至 20.7 亿元。

　　近日，国内半导体量检测设备领军企业上海精测半导体技术有限公司（以下简称 “上海精测”）完成新一轮战略融资，国家集成电路产业投资基金二期（简称 “大基金二期”）等资本正式入股。据工商信息显示，公司注册资本从 13.7 亿元大幅攀升至 20.7 亿元，这是继 2019 年大基金一期参与其 A 轮融资后，国家资本再次加码支持，凸显上海精测在半导体前道检测领域的战略价值。

　　技术突破获资本青睐，国产化进程加速

　　上海精测成立于 2018 年，聚焦半导体前道量检测设备研发与产业化，产品覆盖薄膜厚度量测、关键尺寸量测、电子束缺陷检测等核心环节。其母公司精测电子（300567.SZ）作为国内显示检测设备龙头，为上海精测提供了技术协同与市场资源。通过自主研发及国际合作，上海精测已实现多项技术突破，包括国内首台 12 英寸光学线宽量测设备（OCD）和电子束晶圆缺陷复查设备的量产交付，并成功导入中芯国际等头部客户产线。

　　目前，上海精测已形成上海、武汉双研发中心，研发人员占比达 60%，累计申请专利超 200 项，并获评国家级专精特新 “小巨人” 企业。2023 年启用的青浦全球研发总部，进一步提升了其在长三角集成电路产业带中的技术辐射能力。

　　随着半导体制造工艺向 3nm 及以下节点演进，量检测设备市场需求持续增长。据行业测算，国内前道量检测设备市场规模超 200 亿元，但国产化率仍不足 5%，进口替代空间巨大。上海精测等企业凭借技术积累与资本助力，正逐步打破海外垄断。2024 年，精测电子半导体业务收入同比增长 95%，在手订单近 17 亿元，印证国产设备商业化进程提速。